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压阻式压力传感器的线性度应该注意哪些事项?

发表时间:2023-03-01 18:39【 阅读量:-查看手机网址
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  压阻式心理压力传红外感应器器的规则化度应需注意,在规则化标准中,%FS(满量限,不机会值)通常被使用。就量测值来看,纵然制造技术商标准列出来一堆个很小的值,即便以%FS彰显,误差率也机会都具有相当于大的份量。


  在经济压力估测机组中,曲线度依赖于于这些影响因素:


  1.光电器件阻值器需要足够的小并传播到硅膜片上的合理位置上,


  2.硅膜片一定无残留、边部削铁如泥且选址精准,


  3.直线度是转化的,不管是测定正压力最好气体压力,这寓意着隔阂是凸起最好凹入(收缩或压解电流),


  4.硅膜片的直徑与规格之比需求在目标位置内。相当薄的膜片由于累加伸展而变型:这一种大气球反应要用于较底压力位置的调节器器中会造成 线型身材折线的典型案例S形身材折线(无发凭借模拟系统补充方案来测量)。


  5.谈谈十分的厚的硅膜片,刚性基础统一在其非核心的膜片的预测形式不能可达到,担心随后谈谈1,000 bar感测器器,膜片的高度是集成电路芯片任何的1/2。
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